2413   注意: 補助ガス流量が低下しています。

補助ガスの流量が制限値未満です（装置がスタンバイモードから分析モードへ移行中の場合）。

補助ガスの流量をチェックしてください。以下の問題の可能性がないか、アルゴンタンクの圧力をチェックしてください。

• アルゴンタンクの圧力が低下した。
• 詰まりや切断などのガスラインの不具合。
• アルゴンガスの電磁弁の故障（コネクタが外れている）。
• Ar ガス AMFC モジュールコネクタの故障。
• Ar ガス AMFC モジュールの故障。
• 導入 PCA の故障。