2417 注意: オプションガス流量が適正範囲外です。
オプショナルガスの流量が制限値未満です。
オプショナルガスの流量と圧力をチェックしてください。以下の問題の可能性がないか、オプションガスタンクの圧力をチェックしてください。
詰まりや切断などのガスラインの不具合。
アルゴンガスの電磁弁の故障(コネクタが外れている)。
マスフローコントローラコネクタの故障。
マスフローコントローラの故障。
導入 PCA の故障。
2024-07-01