1006   执行错误: 冷却水（IF）流量过低。

冷却水流量（RF/WC/IF）低于限值，导致无法执行指定的命令。

检查冷却水流量（RF/WC/IF）是否有以下问题：

• 冷却水供应电源未打开。
• ICP-MSICP-QQQ 或冷却水供应的阀处于关闭状态。
• 冷却水过滤器堵塞。
• 冷却水不够充足（可能出现了漏水）。
• ICP-MSICP-QQQ 中的管道堵塞，且电磁阀故障。
• 流量传感器或 Connection PCA 出现故障。