1022   执行错误: 由于碰撞池真空度较低，因此无法打开旁路阀。

八极杆碰撞/反应池系统模式的碰撞池真空度太低，导致旁路阀无法工作。

检查是否有以下问题：

• 碰撞池气体处于供应状态。