1101   错误: 真空（BK）超时，真空度过低，无法启动涡轮泵。

（仪器从关闭模式转换至待机模式过程中）在规定时间内，真空度（IF/BK）达到限值以下，导致分子涡轮泵无法工作。

检查真空度（IF/BK）是否有以下问题。

• 排气阀未关闭或密封不完整。
• 真空腔的罩盖未关闭或密封不完整。
• 前级真空泵未连接电源或断路器处于关闭状态。
• 前级真空泵的油位过低或油有污垢。
• 闸阀存在泄漏。
• 真空管道出现故障（管道关闭，或因针孔或 O 形圈缺陷引起密封不完整导致了泄漏）。
• Pirani 真空规（IF/BK）或 Connection PCA 中出现故障。
• 涡轮泵管口和前级真空泵入口之间的管路出现泄漏。