1104 错误: 真空度(BK)过低,无法使离子真空规(AN)保持打开状态。
(仪器从关闭模式转换至待机模式过程中)真空度(IF/BK)低于限值,导致离子真空规无法打开,或者真空度降低,导致离子真空规关闭。
检查真空度(IF/BK)是否有以下问题。
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排气阀未关闭或密封不完整。
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真空腔的罩盖未关闭或密封不完整。
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前级真空泵未连接电源或断路器处于关闭状态。
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前级真空泵的油位过低或油有污垢。
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闸阀存在泄漏。
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真空管道出现故障(管道关闭,或因针孔或 O 形圈缺陷引起密封不完整导致了泄漏)。
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Pirani 真空规(IF/BK)或 Connection PCA 中出现故障。