1119 错误: 真空度(IF)过低,无法打开闸阀。
(仪器从待机模式转换至分析模式过程中)真空度(IF/BK)低于限值,或者真空度(IF/BK)异常降低,导致闸阀无法打开。
检查真空度(IF/BK)是否有以下问题。
采样锥的孔径过大。
采样锥的密封不完整(垫片有缺陷)。
等离子体距离采样锥太远。
前级真空泵未连接电源或断路器处于关闭状态。
前级真空泵的油位过低或油有污垢。
真空管道出现故障(管道关闭,或因针孔或 O 形圈缺陷引起密封不完整导致了泄漏)。
真空腔内滴入了水滴。
2024-07-01