1122 错误: 离子真空规(AN)故障。
(仪器从关闭模式转换至待机模式过程中)离子真空规工作异常。
转换至关闭模式,松开排气阀 2 秒钟以便引入空气,然后重新开启真空,即可使离子真空规复原。
离子真空规、离子真空规电缆或连接板出现故障。
2024-07-01