1123 错误: 真空度(AN)超时,真空度过低,无法进入待机模式。
(仪器从关闭模式转换至待机模式过程中)在规定时间内,真空度(AN)达到限值以下,导致仪器无法转换至待机模式。
检查四极杆真空度是否有以下问题。此外,真空泵长时间不使用时会导致该错误。出现这种情况时,请重新开启真空。
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排气阀未关闭或密封不完整。
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真空腔的罩盖未关闭或密封不完整。
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前级真空泵未连接电源或断路器处于关闭状态。
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前级真空泵的油位过低或油有污垢。
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闸阀存在泄漏。
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真空管道出现故障(管道关闭,或因针孔或 O 形圈缺陷引起密封不完整导致了泄漏)。
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离子真空规出现故障,导致无法正确测量真空度(AN)。
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分子涡轮泵出现故障。
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真空腔内的部分部件未彻底干燥。