1129 错误: 真空度(AN)过低,无法保持分析模式。
(在分析模式下)真空度(AN)超过限值,或者真空度(AN)异常降低,导致无法保持分析模式。
检查四极杆真空度和接口线路是否有以下问题。
-
采样锥的孔径过大。
-
采样锥的密封不完整(垫片有缺陷)。
-
等离子体距离采样锥太远。
-
截取锥的孔径过大。
-
截取锥和截取锥基座未完整安装。
-
板状偏心透镜安装不完整。
-
前级真空泵未连接电源或断路器处于关闭状态。
-
前级真空泵的油位过低或油有污垢。
-
真空管道出现故障(管道关闭,或因针孔或 O 形圈缺陷引起密封不完整导致了泄漏)。
-
离子真空规出现故障,导致无法正确测量真空度(AN)。
-
真空腔内滴入了水滴。