1133   错误: 涡轮泵（A）未达到目标速度。

（仪器从关闭模式转换至待机模式过程中）分子涡轮泵的旋转次数低于限值。

检查分子涡轮泵的旋转次数和电流、真空度（AN）、真空度（IF/BK），以及电压是否有以下问题。

• 真空度降低。
• 分子涡轮泵的连接器脱落。
• 分子涡轮泵电源出现故障。
• 分子涡轮泵或分子涡轮泵控制器出现故障。
• Connection PCA 出现故障。