1135   错误: 闸阀打开时出现故障，阀再次关闭。

仪器从待机模式转换至分析模式过程中，闸阀关闭。

原因可能是等离子体突然熄火导致联锁系统自动关闭了闸阀。如果闸阀在等离子体处于打开状态时关闭，请检查闸阀的操作。以下是可能的原因。

• 等离子体传感器的光缆脱落。
• 等离子体传感器的光缆故障。
• 闸阀连接器脱落。
• 闸阀上的 Connection PCA 或电磁阀出现故障。