1143   错误: 涡轮泵未达到分析模式的目标速度。

（在分析模式下）分子涡轮泵的旋转次数低于限值。

检查分子涡轮泵的旋转次数和电流、真空度（AN）、真空度（IF/BK），以及供电压力。以下是可能的原因。

• 真空度降低。
• 分子涡轮泵的连接器脱落。
• 电源供应故障（24V）。
• 分子涡轮泵或分子涡轮泵控制器出现故障。
• Connection PCA 出现故障。