1147   错误: 闸阀未在等离子体熄火时关闭。

等离子体熄火的状态下，闸阀不关闭。

检查闸阀的操作。以下是可能的原因。

• 闸阀出现故障。
• 闸阀上的 Connection PCA 或电磁阀出现故障。
• 引出 Omega 透镜安装不正确。氩气供应压力过低。