1152   错误: 底座电磁阀（SVBK）未打开。

（仪器从关闭模式转换至待机模式过程中）当仪器从关闭模式转换至待机模式过程中，未成功打开底座电磁阀（SVBK）。

检查底座电磁阀（SVBK）的操作。以下是可能的原因。

• 底座电磁阀的连接器脱落。
• 底座电磁阀故障。
• Connection PCA 出现故障。
• IF/BK 阀门部位的 Pirani 真空规传感器连接不稳定。