1158   错误: 离子真空规仪表读数超出范围（关闭 > 待机）。

（仪器从关闭模式转换至待机模式过程中）来自离子真空规的真空度不在指定的值范围内。

检查真空度（IF/BK）。以下是可能的原因。

• 排气阀未关闭或密封不完整。
• 真空腔的罩盖未关闭或密封不完整。
• 前级真空泵未连接电源或断路器处于关闭状态。
• 前级真空泵的油位过低或油有污垢。
• 闸阀存在泄漏。
• 真空管道出现故障（管道关闭，或因针孔或 O 形圈缺陷引起密封不完整导致了泄漏）。
• Pirani 真空规（IF/BK）或 Connection PCA 中出现故障。