1159   错误: 无法打开离子真空规，前级真空度过低。

来自 Pirani 真空规的真空度不在离子真空规指定的值范围内。

以下是可能的原因。

• 离子真空规的系统参数设置出现故障。
• 离子真空规出现故障。
• Pirani 真空规（IF/BK）或 Connection PCA 中出现故障。