(在分析模式下)Connection PCA 的离子真空规驱动程序显示没有来自 HV 驱动器模块的 180V 高电压供应,且主 PCA 没有检测到 180V 高电压供应。
该错误在电压超过 210V 或不到 150V 时显示。
以下是可能的原因。