（在分析模式下）分子涡轮泵 2（小型泵）的旋转次数低于限值。
检查分子涡轮泵 2 的旋转次数和电流、真空度（AN）、真空度（IF/BK），以及电压。推断有下列原因。
• 真空度增加。
• 分子涡轮泵的连接器脱落。
• 分子涡轮泵电源出现故障。
• 分子涡轮泵或分子涡轮泵控制器出现故障。
• Connection PCA 出现故障。
• QQQ 系统 I/O PCA 出现故障。