1172   错误: 涡轮泵 2 在关闭到待机模式转换期间未达到目标速度。

（在关闭模式到待机模式下）分子涡轮泵 2 的旋转次数低于限值。

检查分子涡轮泵的旋转次数和电流、真空度（AN）、真空度（IF/BK），以及电压。推断有下列原因。

• 真空度增加。

• 分子涡轮泵的连接器脱落。

• 分子涡轮泵电源出现故障。

• 分子涡轮泵或分子涡轮泵控制器出现故障。

• Connection PCA 出现故障。

• QQQ 系统 I/O PCA 出现故障。