1202   错误: RF 反馈功率超时。反馈功率未达到预匹配限值以下。

（仪器从待机模式转换至分析模式过程中）等离子体 RF 反馈功率未达到限值以下。

检查等离子体 RF 反馈功率。以下是可能的原因。

• 炬管、阀盖和护板的安装有问题。
• RF 匹配的调谐参数限值不正确。
• 并联电容器项的系统参数限值不正确。
• 等离子体 RF 电缆脱落或电缆故障。
• 并联电容器出现故障。

RF 发生器的功率控制参数不是最新的值。使用脚本升级功率控制参数。详细内容请参考服务备注 7700-042。