完成清洗后，在规定的时间内，分子涡轮泵的旋转次数未达到限值以下。（仪器从待机模式转换至关闭模式过程中）分子涡轮泵的电源被强制关闭。
检查分子涡轮泵的旋转次数和电流。检测到该错误，说明分子涡轮泵的旋转次数和电流显示不正确。要检查旋转次数和电流，再次从待机模式开始。
完成清洗后，如果分子涡轮泵的旋转次数不减少，可能是以下原因。