1213   错误: RF48V 电源电压过低。

RF48V 的电压下降至限值以下。

检查 RF48V 电源的电压。RF48V 的供应为 S24V。

以下是可能的原因。

• 在分析模式下打开了罩盖。
• 等离子体突然关闭。
• 电源出现故障。
• RF 发生器出现故障。