1214   错误: RF amp FET 温度过高。

输出 FET 温度超过限值。

检查等离子体 RF amp 温度、等离子体 RF 冷却水流量、等离子体 RF 射频功率、反馈功率、氩气管线真空度以及流量。以下是可能的原因。

• 冷却水流量不足，因此需增加冷却水温度。
• 氩气中混入了空气。
• RF 匹配的调谐参数限值不正确。
• 并联电容器项的系统参数限值不正确。
• 等离子体 RF 电缆脱落或电缆故障。
• 并联电容器、匹配网络出现故障。
• RF 发生器输出 FET 的安装出现故障（传热复合物出现退化）。
• RF 发生器出现故障。