1215   错误: RF amp FET 漏电压太高。

等离子体 RF amp 的 FET 漏电压的输出超过了限值。

等离子体 RF 反馈功率高时，可通过自动调节（在调谐窗口中调谐>> RF 匹配）降低反馈功率。

检查等离子体 RF amp FET 漏电压的输出、等离子体 RF 射频功率、反馈功率、氩气管线真空度以及流量。推断有下列原因。

• RF amp 定向耦合器的连接不良（连接器脱落）。
• 炬管、阀盖和护板的安装有问题。
• 未供应氩气或气体管线有泄漏。
• 氩气中混入了空气或氮气。
• RF 匹配的调谐参数限值不正确。
• 并联电容器项的系统参数限值不正确。
• 等离子体 RF 电缆脱落或电缆故障。
• 并联电容器、匹配网络出现故障。
• 等离子体 RF 发生器出现故障。