1216   错误: RF 功率不平衡。

等离子体 RF amp 输出不平衡。

检查等离子体 RF 射频功率、反馈功率、氩气管线真空度和流量。以下是可能的原因。

• RF amp 定向耦合器的连接不良（连接器脱落）。
• 炬管、阀盖和护板的安装有问题。
• RF 发生器出现故障。