1219 错误: 等离子体在真空(IF)打开期间被关闭。
(仪器从待机模式转换至分析模式过程中)等离子体已熄火。
检查氩气管线真空度和流量。以下是可能的原因。
炬管、阀盖和护板的安装有问题。
未供应氩气或气体管线有泄漏。
氩气中混入了空气。
等离子体 RF 电缆脱落或电缆故障。
并联电容器出现故障。
连接至 RF 发生器的电源线脱落。
RF 发生器出现故障。
2024-07-01