1220   错误: 等离子体在分析期间被关闭。（真空）

（在分析模式下或维护过程中）等离子体已熄火。

检查氩气管线真空度和流量。以下是可能的原因。

• 炬管、阀盖和护板的安装有问题。
• 未供应氩气或气体管线有泄漏。
• 氩气中混入了空气。
• RF 匹配的调谐参数限值不正确。
• 等离子体 RF 电缆脱落或电缆故障。
• 并联电容器出现故障。
• 连接至 RF 发生器的电源线脱落。
• RF 发生器出现故障。
• DC 电源出现故障。