1302   错误: +600V 电源电压过低。

四极杆驱动单元的 DC/DC 转换器电压（+600V）低于限值。

检查四极杆驱动 +600V 电压。以下是可能的原因。

（备注：若要重新启动，请暂时关闭等离子体。）

• 48V 未供应（打开了罩盖）。
• 四极杆相关电缆脱落。
• 四极杆或四极杆相关接线（包括真空腔）造成其他金属部件短路。
• 四极杆电源板或四极杆驱动电路板出现故障。