1306   错误: 四极杆 amp 温度过高。

四极杆 RF amp 的输出 FET 温度超过了限值。

检查 RF 射频功率、反馈功率和四极杆 RF amp 温度。

以下是可能的原因。

• 四极杆匹配频率的系统参数限值不正确。
• 仪器内部的温度异常升高。检查环境温度和通风道流量。
• 四极杆 RF amp 出现故障。