1309   错误: 八极杆控制故障。

无法控制八极杆的 RF 电压。

检查八极杆的 RF 电压。以下是可能的原因。

• 48V 未供应（打开了罩盖）。
• 八极杆或反应池相关接线（包括真空腔）造成其他金属部件短路。
• 八极杆匹配频率不正确。
• 八极杆碰撞/反应池系统模式的碰撞池驱动 PCA 出现故障。