QP1 驱动单元的 DC/DC 转换器电压(+600V)低于限值。
检查 QP1 驱动 +600V 电压。推断有下列原因。
(备注:若要重新启动,请暂时关闭等离子体。)
S24V 未供应(打开了罩盖)。
QP1 相关电缆脱落。
QP1 杆或 QP1 相关接线(包括真空腔)造成其他金属部件短路。
QP1 箱 PCA 或 QP1 控制器 PCA 出现故障。