1439   错误: 更换第三个 MFC 组件。质量流量组件中的 NH3 阀没有完全关闭。

第三个 MFC 气体系统出现气体泄漏。切换至待机模式，关闭可第三种碰撞池体阀，然后确认流量，确保气体流量最少为 0.35mL/min。

检查气体管道系统有无泄漏。以下是可能的原因。

• 气体管道连接部位出现泄漏。
• 气体管线的损耗或损伤。
• 第三个质量流量控制器模块出现故障。