1468   错误: 可选气体流量超出可接受的范围。

可选气体流量低于限值。

检查可选气体的流量和真空度。检查可选气体箱的真空度是否有以下问题。

• 气体管线出现故障，例如堵塞或断开。
• 氩气电磁阀出现故障（连接器断开）。
• 质量流量控制器连接器出现故障。
• 质量流量控制器出现故障。
• 引入 PCA 出现故障。