2151   警告: 接口真空度过低。

（在分析模式下）真空度（IF/BK）低于限值。

检查真空度（IF/BK）是否有以下问题：

• 采样锥口过大。
• 采样锥的密封不完整（垫片有缺陷）。
• 等离子体距离采样锥太远。
• 前级真空泵的油位过低或油有污垢。
• 真空管道出现故障（管道关闭，或因针孔或 O 形圈缺陷引起密封不完整导致了泄漏）。
• 真空腔内滴入了水滴。