2153   警告: 四极杆真空度过低。

（在待机模式下）真空度（AN）低于限值。

检查真空度（AN）是否有以下问题：

• 前级真空泵未连接电源或断路器处于关闭状态。
• 前级真空泵的油位过低或油有污垢。
• 真空管道出现故障（管道关闭，或因针孔或 O 形圈缺陷引起密封不完整导致了泄漏）。
• 排气阀未关闭或密封不完整。
• 真空腔的罩盖未关闭或密封不完整。
• 闸阀存在泄漏。
• 离子真空规或 Connection PCA 中出现故障。