2412 警告: 等离子体气体流量较低。
等离子体气体流量低于限值。
检查等离子体气体流量。检查氩气箱的真空度是否有以下问题:
氩气箱的真空度升高。
气体管线出现故障,例如堵塞或断开。
氩气电磁阀出现故障(连接器断开)。
氩气 AMFC 模块连接器出现故障。
氩气 AMFC 模块出现故障。
引入 PCA 出现故障。
2024-07-01