2413 警告: 辅助气体流量较低。
(仪器从待机模式转换至分析模式过程中)辅助气体流量低于限值。
检查辅助气体流量。检查氩气箱的真空度是否有以下问题:
氩气箱的真空度升高。
气体管线出现故障,例如堵塞或断开。
氩气电磁阀出现故障(连接器断开)。
氩气 AMFC 模块连接器出现故障。
氩气 AMFC 模块出现故障。
引入 PCA 出现故障。
2024-07-01