2414   注意: ネブライザガス流量が低下しています。

ネブライザガス（キャリアガス）の流量が制限値未満です。

ネブライザガスの流量と圧力をチェックしてください。アルゴンタンクの圧力もチェックしてください。以下の原因が考えられます。

• アルゴンタンクの圧力が低下した。
• 詰まりや外れなどのガスラインの不具合。
• アルゴンガスの電磁弁の故障（コネクタが外れている）。
• Ar ガス AMFC モジュールコネクタの故障。
• Ar ガス AMFC モジュールの故障。
• 導入 PCA の故障。