冷却装置の設定をします。
[COMポート]
冷却装置の通信ケーブルを接続しているCOMポートを設定します。
[自動オン/オフ設定]
チェックを入れると、プラズマのオン/オフに合わせて、冷却装置のオン/オフを切り替えます。デフォルトはオンです。
[冷媒温度の設定]
冷却装置の液温を設定します。
＜OK＞
設定を反映します。
＜キャンセル＞
設定を中止します。