リアクションガスの掃引結果が表示され、最適なガス流量を設定します。
Excelをインストールしている場合のみ、「RampCellGasResult.xlsx」ファイルにインポートされ、Excelで表示/印刷されます。それ以外の場合は、「RampCellGasResult.csv」ファイルにインポートされ、CSVに関連付けられているアプリケーションで表示/印刷されます。
グラフとテーブル
最新のガス流量掃引デ－タと現在設定されている標準液濃度の値からバックグラウンド相当濃度を計算して、グラフに表示します。
Heガス
最適なHeガス流量を入力して、[適用] ボタンをクリックします。
H2 ガス
最適なH2 ガス流量を入力して、[適用] ボタンをクリックします。
第 3 セルガス
最適な第 3 セルガスの割合（%）を入力して、[適用] ボタンをクリックします。
第 4 セルガス
最適な第 4 セルガスの割合（%）を入力して、[適用] ボタンをクリックします。
第 3 セルガス：ヘリウム含有率 90%以上の混合ガスを使用してください。たとえば、NH3/He混合ガスを使用する場合、全体の 90%以上をHeとする必要があります。不燃性かつ非腐食性のガスを使用する際にも、必ずヘリウム含有率を 90%以上にしてください。
第 4 セルガス：不燃性かつ非腐食性のガスのみ使用することができます。
各種安全注意事項、および圧縮ガス（酸素、水素、アンモニア等）の取り扱いについては、ハードウェアメンテナンスマニュアル、アンモニア安全ガイド、水素ガス安全の手引き、サイト準備の手引きを参照してください。
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