セルメンテナンスペイン

セルメンテナンスペインで利用できる機能について説明します。

MaintenanceCellPane.png 

ツールバー

タスク設定ツールバー

MaintenanceCellPaneTool.png 

MoveBar.png ドラッグすると、ツールバーを移動できます。

OpenBypassValveIcon.png ON にするとセルのバイパスバルブが開き、OFF にすると閉じます。セルガスラインをパージするときに使用します。

OctPoleMatchingIcon.png  オクタポ-ルマッチングを自動調整します。はねあげカバ-(右)(左)を閉じてから始めてください。オクタポールの交換やメンテナンスを行った場合に実行します。

設定テーブル

各種ガスの流量を設定し、セルガスラインのパ-ジ・真空引きを行うことができます。

 

アンモニアガスを第 3 セルガスに使用している場合、アンモニアを流すと、安全のため、Heガスも自動的に流されます。

 

[パラメータ]

パラメータが表示されます。各パラメータについては、チューンモードペイン[セル] テーブルをご覧ください。

[アウトプット] 列

各種ガス流量を調節します。

[インプット] 列

現在値が表示されます。

[単位] 列

単位が表示されます。

コンテキストメニュー

本ペイン上で右クリックしたときに表示されるコンテキストメニューで実行できるコマンドについて説明します。下記以外のコマンドは、ツールバーのコマンドと同じ機能ですので、該当するコマンドをご覧ください。

[テーブルのエクスポート]

[テーブルのエクスポート](テーブル全体)ダイアログボックスが表示され、テーブル全体をエクスポートします。テーブルを含むペインを選択している場合に動作します。

[印刷]

[印刷] ダイアログボックスが表示され、選択中のペインの内容を印刷します。

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