ガスパージ設定ペイン

ガスパージ設定ペインで利用できる機能について説明します。

ガスパージ設定ペインでは、Si（シリコン）と S（硫黄）の BEC（バックグランド相当濃度）を減少させるために、スタンバイ時に Ar ガスラインをパージします。

Ar ガスのパージ中は、最下行のステータスバーに、（ガスパージ）と表示されます。

ツールバー

ドラッグすると、ツールバーを移動できます。

オンにすると、スタンバイ時に、Arガスパージを開始します。パージが終了すると、テーブルの [現在の値] 列に測定値が表示されます。

[現在の値] をデフォルトに戻します。

ガスパージ後に、各ガス流量の測定値が表示されます。

各ガスのパラメータが表示されます。

ガスパージの実行後に、測定値が表示されます。

単位が表示されます。

本ペイン上で右クリックしたときに表示されるコンテキストメニューで実行できるコマンドについて説明します。下記以外のコマンドは、ツールバーのコマンドと同じ機能ですので、該当するコマンドをご覧ください。

[テーブルのエクスポート]（テーブル全体）ダイアログボックスが表示され、テーブル全体をエクスポートします。テーブルを含むペインを選択している場合に動作します。

[印刷] ダイアログボックスが表示され、選択中のペインの内容を印刷します。

タスクナビゲーターの [ハードウェア] グループから [ダッシュボード] をクリックし、[プラズマ] から [スタンバイ時のガスパージ] を選択します。
タスクナビゲーターの [ハードウェア] グループから [スタンバイ時のガスパージ] を選択します。メニューが表示されない場合は、ダッシュボードペインの [プラズマ] チェックボックスをオンにします。