1210   错误: RF amp FET 漏电流过高。

等离子体 RF amp 的 FET 漏极电流的输出超过了限值。

检查等离子体 RF amp 输出 FET 漏极电流、等离子体 RF 射频功率、反馈功率、氩气管线真空度以及流量。等离子体 RF 反馈功率较高时，通过自动调整来降低反馈功率（调谐模式窗格子菜单中的 [高级]－[自动 RF 匹配]）。以下是可能的原因。

• 炬管、阀盖和护板的安装有问题。
• 未供应氩气或气体管线有泄漏。
• 氩气中混入了空气。
• RF 匹配的调谐参数限值不正确。
• 并联电容器项的系统参数限值不正确。
• 等离子体 RF 电缆脱落或电缆故障。
• 并联电容器、匹配网络出现故障。
• RF 发生器出现故障。