气体吹扫设置窗格
对气体吹扫设置窗格中可用的功能进行说明。
在气体吹扫设置窗格中，为了降低 Si（硅）和 S（硫）的 BEC（背景等效浓度），在待机时吹扫氩气管线。
执行氩气吹扫时，最下行的状态栏中将显示（气体吹扫）。
工具栏
任务设置工具栏
拖动
，可以移动工具栏。
启用后，进入待机状态时将开始氩气吹扫。完成吹扫后，将在表的
[当前值] 列中显示测定值。
将 [当前值] 恢复成默认值。
设置表
完成气体吹扫后，将显示各气体流量的测定值。
[参数]
显示各气体参数。
[当前值]
执行了气体吹扫后，将显示测定值。
[单位]
显示单位。
子菜单
对右键单击本窗格时显示的子菜单中可执行的指令进行说明。下述以外的指令和工具栏指令具有相同功能，因此请参阅相关说明。
[导出表]
显示 [导出表]（整表）对话框，导出整个表。该命令在选中包含表的窗格时起作用。
[打印]
显示 [打印] 对话框，打印选中窗格的内容。