オートチューンや、カスタムチューンでのレンズのオートチューンの場合の測定パラメータを設定します。
ノーガスモード
[質量数 1]～[質量数 3]
ノーガスモードでオートチューンを行うときの、低マス、中マス、高マスの質量数を入力します。
Qポール 1 とQポール 2 の質量数を設定してください。
ハードウェアの調整に使用する元素を選択するときは、検出器のパルスモードの範囲内で安定した信号が得られる元素を選択してください。高すぎる、低すぎる、または不安定な信号の元素を選択すると、ハードウェアの自動調整に失敗する可能性があります。
H2/Heガスモード
[質量数 1]～[質量数 3]
H2/Heガスモードでオートチューンを行うときの、低マス、中マス、高マスの質量数を入力します。
Qポール 1 とQポール 2 の質量数を設定してください。
ハードウェアの調整に使用する元素を選択するときは、検出器のパルスモードの範囲内で安定した信号が得られる元素を選択してください。高すぎる、低すぎる、または不安定な信号の元素を選択すると、ハードウェアの自動調整に失敗する可能性があります。
[偏向レンズのチューニング用質量数]
偏向レンズのオートチューンを行うときの質量数を入力します。
第 3 セルガスモード
[質量数 1]～[質量数 3]
第 3 セルガスモードでオートチューンを行うときの、低マス、中マス、高マスの質量数を入力します。
Qポール 1 とQポール 2 の質量数を設定してください。
ハードウェアの調整に使用する元素を選択するときは、検出器のパルスモードの範囲内で安定した信号が得られる元素を選択してください。高すぎる、低すぎる、または不安定な信号の元素を選択すると、ハードウェアの自動調整に失敗する可能性があります。
[偏向レンズのチューニング用質量数]
偏向レンズのオートチューンを行うときの質量数を入力します。
第 4 セルガスモード
第 3 セルガス：ヘリウム含有率 90%以上の混合ガスを使用してください。たとえば、NH3/He混合ガスを使用する場合、全体の 90%以上をHeとする必要があります。不燃性かつ非腐食性のガスを使用する際にも、必ずヘリウム含有率を 90%以上にしてください。
第 4 セルガス：不燃性かつ非腐食性のガスのみ使用することができます。
各種安全注意事項、および圧縮ガス（酸素、水素、アンモニア等）の取り扱いについては、ハードウェアメンテナンスマニュアル、アンモニア安全ガイド、水素ガス安全の手引き、サイト準備の手引きを参照してください。
[質量数 1]～[質量数 3]
第 4 ガスモードでオートチューンを行うときの、低マス、中マス、高マスの質量数を入力します。
Qポール 1 とQポール 2 の質量数を設定してください。
ハードウェアの調整に使用する元素を選択するときは、検出器のパルスモードの範囲内で安定した信号が得られる元素を選択してください。高すぎる、低すぎる、または不安定な信号の元素を選択すると、ハードウェアの自動調整に失敗する可能性があります。
[偏向レンズのチューニング用質量数]
偏向レンズのオートチューンを行うときの質量数を入力します。
[質量バランス]
テキストボックスに%値でマスバランスを入力します。右側のバーを左右に動かして設定することもできます。
質量バランスは、レンズのオートチューンでレンズ電圧に対する感度変化を、質量数について重み付けをするパラメータです。小さくするほど低質量数、大きくするほど高質量数の感度が出やすいチューニングになります。ただし、低質量数の感度が高くなると、オフマスバックが上昇することがありますので、ご注意ください。通常は、Tlの感度がLiの 2 倍から 4 倍程度になるようにします。
クールプラズマモード
クールプラズマモードでオートチューンを行うときの、質量数を入力します。
＜OK＞
設定内容を反映します。
＜キャンセル＞
設定を中止します。