装置の起動
次の 3 つの状態から本装置を起動する操作について説明します。
各種安全注意事項、および圧縮ガス（酸素、水素、アンモニア等）の取り扱いについては、ハードウェアメンテナンスマニュアル、アンモニア安全ガイド、水素ガス安全の手引き、サイト準備の手引きを参照してください。
電源OFF状態からの起動
移動やメンテナンスや長期の停止により電源OFFの状態から装置を起動するには、次の手順で行います。
- 装置を電源に接続します。
装置の電源プラグを電源コンセントに接続します。
- フォアラインポンプの電源コードと真空ホース、Arガスチューブ、冷却水チューブ、コンピュータと本装置をつなぐLANケーブルをそれぞれ適切に接続します。
- フォアラインポンプの電源スイッチをONにします。
電源スイッチはそれぞれのポンプにあります。MassHunter Workstationで真空ONにするまでは、ポンプはOFFのままです。
- 装置の電源ブレーカーと装置本体側のフォアラインポンプの電源スイッチをONにします。
これら 3 つのスイッチは本体背面にあります。
電源スイッチ類（本体背面左下付近）
- 装置の主電源スイッチをONにします。装置前面の右下にある電源スイッチをONにします。装置の電源が入り、電源スイッチのランプが緑色に光ります。
主電源スイッチ（本体前面）
- コンピュータを起動させます。
- MassHunter Workstationを起動します。
起動方法については、「MassHunter Workstationの起動」をご覧ください。
[ICP-MS MassHunter] ウィンドウ[ICP-QQQ MassHunter] ウィンドウが表示されます。
停止モードの場合、ステータスバーに [シャットダウン] と表示され、[ステータスビューア] ダイアログボックスと機器ステータスペインのインジケーターがグレー表示になります。また、装置本体右上のLEDは消灯しています。
- 引き続き、「停止モードからの起動」と「スタンバイモードからの起動」の操作を行います。
機器の主電源スイッチをONにする前にMassHunter Workstationを起動させると、通信ができず、MassHunter Workstationから装置をコントロールできなくなります。その場合、装置の主電源スイッチをONにして機器のステータスインジケータの赤い点灯が消えてからMassHunter Workstationを起動するようにしてください。
MassHunter Workstationの起動については、「MassHunter Workstationの起動」をご覧ください。
停止モードからの起動
停止モードからの起動について説明します。
- タスクナビゲーターの
[ハードウェア] グループから [ダッシュボード] をクリックします。
ダッシュボードペインが表示されます。
- [メインフレーム] から [真空] をクリックします。
確認ダイアログボックスが表示されます。
- [はい] をクリックします。
フォアラインポンプがONになり、バッキングラインバルブが開いて、ターボ分子ポンプがONになります。
真空チャンバが適切な圧力（5x10-4Pa以下）に到達すると、装置はスタンバイモードになります。
真空チャンバを長い時間、大気圧状態にしておいた場合は、スタンバイモードになるまでの時間はより長くかかります。
スタンバイモードになると、ステータスバーと [ステータスビューア] ダイアログボックスと機器ステータスペインのインジケーターに [スタンバイ] と表示されます。また、装置右上のLEDがオレンジ色に点灯しています。（オレンジ色で点滅しているときは、モードが移行中であることを示します）。
- 引き続き、「スタンバイモードからの起動」の操作を行います。
スタンバイモードからの起動
スタンバイモードから起動する方法について説明します。
本装置がスタンバイモードのとき、プラズマは消えている状態です。プラズマが点火して分析モードになります。装置をスタンバイモードから起動するには、次の手順で行います。
- 本装置がスタンバイモードであることを確認します。
スタンバイモードの場合は、[ICP-MSICP-QQQ MassHunter] ウィンドウのステータスバーと [ステータスビューア] ダイアログボックスと機器ステータスペインのインジケーターに [スタンバイ] と表示されます。
- はねあげカバーをきちんと閉めます。
はねあげカバーを 2 つともきちんと閉めます。どちらかまたは両方のはねあげカバーが開いていると安全機能が働くため、プラズマが点火せず、分析モードになりません。
- 排気ダクトが作動しているか確認します。
- 装置に冷却水とアルゴンガスを供給します。
冷却水循環装置などで冷却水を供給してください。
アルゴンガスの元圧は 500～700 kPaが必要です。
- ドレインタンクが十分に空いていることを確認します。
- ドレイン用のペリポンプチューブをペリポンプにセットします。サンプル導入をペリポンプで行う場合は、サンプル用ポンプチューブもペリポンプにセットします。
- [ホーム] タブの [スタートアップ] グループから [プラズマ] をダブルクリックします。
確認ダイアログボックスが表示されます。
- [はい] をクリックします。
プラズマトーチへのガスのスイッチがオンになり、ガスラインがアルゴンで置換されます。次にプラズマが点火し、インターフェースチャンバの真空引きが始まります。
- 分析モードへ移行したことを確認します。
分析モードへ移行すると、ステータスバーと、[ステータスビューア] ダイアログボックスと機器ステータスペインのインジケーターに [分析] と表示されます。
ドレイン用ペリポンプチューブを必ずペリポンプにセットしてください。スプレーチャンバからのドレインはこのペリポンプで排出されます。排出がされない場合、ドレインがスプレーチャンバに一杯になり、さらにトーチにまで送られます。ドレインがトーチに送られると突然プラズマが消える原因になります。