碰撞/反应池维护窗格
对碰撞/反应池维护窗格中可用的功能进行说明。
工具栏
任务设置工具栏
拖动 
，可以移动工具栏。
设置为打开时，单元的旁路阀打开，设置为关闭时关闭。吹扫碰撞池气体管线时使用。
自动进行八极杆匹配。请先关闭顶盖（右）（左）再开始执行。进行八极杆更换和维护时执行。
设置表
可以设置各种气体的流量，进行碰撞池气体管线的吹扫净化和抽真空。
如果使用氨气作为第三种碰撞池气体，为了安全起见，也将自动打开氦气。
[参数]
显示参数。关于各参数，请参阅调谐模式窗格 的[碰撞池] 表。
[输出] 列
调节各种气体流量。
[输入] 列
显示当前值。
[单位] 列
显示单位。
子菜单
对右键单击本窗格时显示的子菜单中可执行的指令进行说明。下述以外的指令和工具栏指令具有相同功能，因此请参阅相关说明。
[导出表]
显示 [导出表]（整表）对话框，导出整个表。该命令在选中包含表的窗格时起作用。
[打印]
显示 [打印] 对话框，打印选中窗格的内容。