装置状態の確認

[ICP-MS MassHunter] ウィンドウ [ICP-QQQ MassHunter] ウィンドウの機器ステータスペインでは、リアルタイムで装置の現在の状態を確認することができます。

機器ステータスペインが表示されない場合は、[表示] タブの [表示] グループから [ペイン] － [機器ステータス] を選択してください。

機器ステータスペインには、同時に 5 つのメータの数値を表示できます。機器ステータスペインに表示するメータを変更するには、次の手順で行います。

[表示] タブの [メーター] グループから [メーター] をクリックします。
[メーターの選択] ダイアログボックスが表示されます。
[メーター] カテゴリの [選択] をクリックします。

[メーターの選択]ダイアログボックス (7900の場合)

画面上の用語表記「キャリアガス」は、MassHunter 4.4で「ネブライザガス」に変更されました。

表示したいメータのチェックボックスを選択します。
メータは合計 5 つまで選択できます。
[OK] をクリックします。

機器ステータスペインに選択したメータの数値が表示されます。

メータ表示の値（7700）
メータ	一般的な範囲			単位
	停止モード	スタンバイモード	分析モード
IF/BK圧力	---	0.3～5	250～490（フォアラインポンプ使用時）	Pa
アナライザ圧力	---	1x10^-5～6x10^-4	1x10^-4～2x10^-3	Pa
ターボ分子ポンプ回転数	0	65～100	95～100	%
冷却水流量	0.0	0.0	1～2	L/min
冷却水温度	15～25	15～25	15～45	°C
吸気口温度	室温	室温	15～35	°C
内部温度	室温	室温	45～55	°C
入射電力	0	0	700～1600	W
反射電力	0	0	< 20	W
プラズマ周波数	---	---	26.0～28.0	MHz
ネブライザガス圧力（BP）	0	0	200～500	kPa
オプションガス元圧	0	0		kPa
Arガス元圧	700	700	500～700	kPa
ネブライザガス	0	0	0.8～1.3	L/min
メークアップ/希釈ガス	0	0	0～1.0	L/min
オプションガス	0	0		%
プラズマガス	0	0	15	L/min
補助ガス	0	0	0～1.0	L/min
H₂ ガス	0	0	3～5	mL/min
Heガス	0	0	3～5	mL/min
第 3 セルガス	0	0	3～5	mL/min
スプレーチャンバ温度（L）	室温	室温	2	°C

メータ表示の値（8800）
メータ	一般的な範囲			単位
	停止モード	スタンバイモード	分析モード
IF/BK圧力	---	0.3～5	250～490	Pa
アナライザ圧力	---	1x10^-5～7x10^-4	1x10^-4～2x10^-3	Pa
ターボ分子ポンプ 1回転数	0	80～100	95～100	%
ターボ分子ポンプ 2回転数	0	80～100	95～100	%
冷却水流量	0.0	0.0	1～2	L/min
冷却水温度	15～25	15～25	15～40	°C
吸気口温度	室温	室温	15～35	°C
内部温度	室温	室温	20～50	°C
入射電力	0	0	600～1600	W
反射電力	0	0	< 20	W
プラズマ周波数	---	---	26.0～28.0	MHz
ネブライザガス圧力（BP）	0	0	200～300	kPa
オプションガス元圧	0	0	10～100	kPa
Arガス元圧	700	700	500～700	kPa
ネブライザガス	0	0	0.8～1.3	L/min
メークアップ/希釈ガス	0	0	0～1.0	L/min
オプションガス	0	0	5～20	%
プラズマガス	0	0	15	L/min
補助ガス	0	0	0.9～1.5	L/min
H₂ ガス	0	0	5～8	mL/min
Heガス	0	0	4～5, 7～10	mL/min
第 3 セルガス	0	0	20～40	%
第 4 セルガス	0	0	20～40	%
スプレーチャンバ温度（L）	室温	室温	2	°C

第 3 セルガス：ヘリウム含有率 90%以上の混合ガスを使用してください。たとえば、NH3/He混合ガスを使用する場合、全体の 90%以上をHeとする必要があります。不燃性かつ非腐食性のガスを使用する際にも、必ずヘリウム含有率を 90%以上にしてください。

第 4 セルガス：不燃性かつ非腐食性のガスのみ使用することができます。

各種安全注意事項、および圧縮ガス（酸素、水素、アンモニア等）の取り扱いについては、ハードウェアメンテナンスマニュアル、アンモニア安全ガイド、水素ガス安全の手引き、サイト準備の手引きを参照してください。

メータ表示の値（7900）
メータ	一般的な範囲			単位
	停止モード	スタンバイモード	分析モード
IF/BK圧力	---	2～8	150～300（フォアラインポンプ使用時）	Pa
アナライザ圧力	---	1x10^-5～5x10^-4	7x10^-5～1x10^-3	Pa
ターボ分子ポンプ回転数	0	95～100	95～100	%
冷却水流量	0.0	0.0	1～2	L/min
冷却水温度	15～25	15～25	15～40	°C
吸気口温度	室温	室温	15～35	°C
内部温度	室温	室温	---	°C
入射電力	0	0	700～1600	W
反射電力	0	0	< 20	W
プラズマ周波数	---	---	26.0～28.0	MHz
ネブライザガス圧力（BP）	0	0	200～500	kPa
オプションガス元圧	0	0		kPa
Arガス元圧	500～700	500～700	500～700	kPa
ネブライザガス	0	0	0.7～1.2	L/min
メークアップ/希釈ガス	0	0	0～1.0	L/min
オプションガス	0	0	0～40	%
プラズマガス	0	0	15	L/min
補助ガス	0	0	0.8～1.0	L/min
H₂ガス	0	0	3～5	mL/min
Heガス	0	0	4～6	mL/min
第 3 セルガス	0	0	10～50	%
スプレーチャンバ温度（L）	室温	室温	2	°C
AVS ポンプ速度	0	0	0～100	%
バルブ位置	ロード/注入	ロード/注入	ロード/注入	-
チューン/内標準バルブ	チューン/内標準	チューン/内標準	チューン/内標準	-

メータ表示の値（7800）
メータ	一般的な範囲			単位
	停止モード	スタンバイモード	分析モード
IF/BK圧力	---	0.3～5	220～490（フォアラインポンプ使用時）	Pa
アナライザ圧力	---	1x10^-5～5x10^-4	7x10^-5～1x10^-3	Pa
ターボ分子ポンプ回転数	0	95～100	95～100	%
冷却水流量	0.0	0.0	1～2	L/min
冷却水温度	15～25	15～25	15～40	°C
吸気口温度	室温	室温	15～35	°C
内部温度	室温	室温	---	°C
入射電力	0	0	700～1600	W
反射電力	0	0	< 20	W
プラズマ周波数	---	---	26.0～28.0	MHz
ネブライザガス圧力（BP）	0	0	200～500	kPa
オプションガス元圧	0	0		kPa
Arガス元圧	500～700	500～700	500～700	kPa
ネブライザガス	0	0	0.7～1.2	L/min
メークアップ/希釈ガス	0	0	0～1.0	L/min
オプションガス	0	0	0～40	%
プラズマガス	0	0	15	L/min
補助ガス	0	0	0.8～1.0	L/min
H₂ガス	0	0	3～5	mL/min
Heガス	0	0	4～6	mL/min
第 3 セルガス	0	0	10～50	%
スプレーチャンバ温度（L）	室温	室温	2	°C
AVS ポンプ速度	0	0	0～100	%
バルブ位置	ロード/注入	ロード/注入	ロード/注入	-
チューン/内標準バルブ	チューン/内標準	チューン/内標準	チューン/内標準	-

メータ表示の値（8900）
メータ	一般的な範囲			単位
	停止モード	スタンバイモード	分析モード
IF/BK圧力	---	0.3～5	250～490	Pa
アナライザ圧力	---	1x10^-5～7x10^-4	1x10^-4～2x10^-3	Pa
ターボ分子ポンプ 1回転数	0	80～100	95～100	%
ターボ分子ポンプ 2回転数	0	80～100	95～100	%
冷却水流量	0.0	0.0	1～2	L/min
冷却水温度	15～25	15～25	15～40	°C
吸気口温度	室温	室温	15～35	°C
内部温度	室温	室温	20～50	°C
入射電力	0	0	600～1600	W
反射電力	0	0	< 20	W
プラズマ周波数	---	---	26.0～28.0	MHz
ネブライザガス圧力（BP）	0	0	200～300	kPa
オプションガス元圧	0	0	10～100	kPa
Arガス元圧	700	700	500～700	kPa
ネブライザガス	0	0	0.8～1.3	L/min
メークアップ/希釈ガス	0	0	0～1.0	L/min
オプションガス	0	0	5～20	%
プラズマガス	0	0	15	L/min
補助ガス	0	0	0.9～1.5	L/min
H₂ ガス	0	0	5～8	mL/min
Heガス	0	0	4～5, 7～10	mL/min
第 3 セルガス	0	0	20～40	%
第 4 セルガス	0	0	20～40	%
スプレーチャンバ温度（L）	室温	室温	2	°C
AVS ポンプ速度	0	0	0～100	%
バルブ位置	ロード/注入	ロード/注入	ロード/注入	-
チューン/内標準バルブ	チューン/内標準	チューン/内標準	チューン/内標準	-

第 4 セルガス：不燃性かつ非腐食性のガスのみ使用することができます。

メータ表示の値（7850）
メータ	一般的な範囲			単位
	停止モード	スタンバイモード	分析モード
IF/BK圧力	---	0.3～5	220～490（フォアラインポンプ使用時）	Pa
アナライザ圧力	---	1x10^-5～5x10^-4	7x10^-5～1x10^-3	Pa
ターボ分子ポンプ回転数	0	95～100	95～100	%
冷却水流量	0.0	0.0	1～2	L/min
冷却水温度	15～25	15～25	15～40	°C
吸気口温度	室温	室温	15～35	°C
内部温度	室温	室温	---	°C
入射電力	0	0	700～1600	W
反射電力	0	0	< 20	W
プラズマ周波数	---	---	26.0～28.0	MHz
ネブライザガス圧力（BP）	0	0	200～500	kPa
オプションガス元圧	0	0		kPa
Arガス元圧	500～700	500～700	500～700	kPa
ネブライザガス	0	0	0.7～1.2	L/min
オプションガス	0	0	0～40	%
プラズマガス	0	0	15	L/min
補助ガス	0	0	0.8～1.0	L/min
H₂ガス	0	0	3～5	mL/min
Heガス	0	0	4～6	mL/min
スプレーチャンバ温度（L）	室温	室温	2	°C
AVS ポンプ速度	0	0	0～100	%
バルブ位置	ロード/注入	ロード/注入	ロード/注入	-
チューン/内標準バルブ	チューン/内標準	チューン/内標準	チューン/内標準	-