機器ステータスペインに表示されるメータを選択します。メータは合計 5 つまで選択できます。これらのメータの値は、測定中も表示が更新されます。
真空
[IF/BK圧力]
ターボ分子ポンプ前段の圧力です。
[アナライザ圧力]
アナライザチャンバの圧力です。
[ターボ分子ポンプ 1 回転数]
アナライザチャンバ用ターボ分子ポンプ 1 の、最大回転数に対する現在の回転数の割合です。
[ターボ分子ポンプ 2 回転数]
アナライザチャンバ用ターボ分子ポンプ 2 の、最大回転数に対する現在の回転数の割合です。
冷却水
[冷却水流量]
誘導コイルとインターフェース部を流れる冷却水の流量です。
[冷却水温度]
冷却水入口の温度です。
ハウジング
[吸気口温度]
吸気口の温度です。
[内部温度]
ハウジング内部の温度です。
プラズマRF
[入射電力]
RFコイルに入射する電力です。
[反射電力]
RFコイルから反射する電力です。
[プラズマ周波数]
プラズマ周波数です。
AVS
[AVS ポンプ速度]
AVS のポンプ速度です。
[バルブ位置]
AVS の 6 ポートバルブの位置（ロード/注入）です。
[チューン/内標準バルブ]
3 方バルブが注入中の溶液です。
ガス
[ネブライザガス圧力 (BP)]
ネブライザにかかるネブライザガス（キャリアガス）の圧力（ゲージ圧）です。
[オプションガス元圧]
オプションガスの供給圧力（ゲージ圧）です。
[Arガス元圧]
本装置へのArの供給圧力（ゲージ圧）です。
[ネブライザガス]
ネブライザガス（キャリアガス）の流量です。
[メークアップ/希釈ガス]
メークアップガス、または希釈ガスの流量です。
[オプションガス]
オプションガスの流量です。
オプションガスは、オプションガスラインを装備している場合のみ使用可能です。また、オプションガス圧力および流量は、オプションガスの使用目的によって適正値が異なります。
[プラズマガス]
プラズマガスの流量です。
[補助ガス]
補助ガスの流量です。
リアクションセル
[H2 ガス]
セルに流すH2 ガス流量です。（H2 ガスラインを装備していない場合は、設定できません。）
[Heガス]
セルに流すHeガス流量です。
[第 3 セルガス]
セルに流す第 3 セルガス流量です。（オプションガスラインを装備していない場合は、設定できません。）
[第 4 セルガス]
セルに流す第 4 セルガス流量です。
第 3 セルガス：ヘリウム含有率 90%以上の混合ガスを使用してください。たとえば、NH3/He混合ガスを使用する場合、全体の 90%以上をHeとする必要があります。不燃性かつ非腐食性のガスを使用する際にも、必ずヘリウム含有率を 90%以上にしてください。
第 4 セルガス：不燃性かつ非腐食性のガスのみ使用することができます。
各種安全注意事項、および圧縮ガス（酸素、水素、アンモニア等）の取り扱いについては、ハードウェアメンテナンスマニュアル、アンモニア安全ガイド、水素ガス安全の手引き、サイト準備の手引きを参照してください。
スプレーチャンバ
[スプレーチャンバ温度 (L)]
スプレーチャンバの温度です。
＜OK＞
指定したメータを機器ステータスペインに表示します。
＜キャンセル＞
設定を中止します。